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EMS1050 低溫灰化儀

應用領域:

l  生物芯片領域

l  醫用材料、光學材料研究

l  電子半導體領域

l  高分子材料研究

l  電化學、高端零部件處理

l  有機材料的灰化、刻蝕

 

 

 

儀器性能:

l  自動調頻高頻發生器

l  內置旋轉真空泵

l  此系統通常使用氧及氬的混合氣體,氧去除有機物質(碳氫化合物),氬對樣品表面進行刻蝕

l  低溫等離子灰化、刻蝕、清洗 (0-150 watts RF)

l  真空監測.

l  雙重氣流針閥控制

l  精確時間定時

l  微處理器程序設置

l  LCD狀態數字顯示

l  腔室為圓柱形,樣品裝載為抽屜式抽拉系統,樣本操作方便

l  聚碳酸脂安全防護  

 

技術參數:

體積

450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)

工作腔室

派熱克斯玻璃 160mm(L)x110mm(Dia.)

(硼硅酸鹽玻璃為標準配置)

重量

25Kg

等離子體輸出

最大150w13.56 MHz

 

 

真空度

>ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.

時間控制

最長可設置99小時59分鐘

雙重氣流控制

雙重針閥氣流控制,可選1種或2種氣體(校準 5-100cm3/min air at A.T.P)

電源

230 V 50Hz (3 amp Max)

 

訂購信息:

貨號

產品名稱

規格

93000

EMS 1050 低溫灰化儀

91005-F

Rotary Vacuum Pump (Fomblin)

 

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